从目前的考古发掘来看，在6000年前的祭祀活动中已经出现了燃烧柴木及烧燎祭品的作法(常称为“燎祭”)。被誉为“中国第一古城址”的湖南澧县城头山遗址的大型祭坛、上海青浦淞泽遗址的祭坛都发现了燎祭遗存。(燎祭祭祀的遗存物不易分辨具体物品，柴祭、燎祭等常统称“燎祭”。所烧物品大致有两大类：一类是易于燃烧的植物，如柴木、草、粮食等，另一类是陶器、石器、动物牲体等需借柴木之火焚燎的物品。由于植物遗存多为残灰，不易识别，燎祭所用植物的种类尚待考察，应是选用一些品质较好的、含芳香气味的树木、灌木或草本植物。)
距今6000~5000年间(约为仰韶时代中晚期)，祭坛规模更大，燎祭遗存更多，可见于辽西东山嘴和牛河梁红山文化晚期遗址。从东山嘴到牛河梁的数十公里之内绵延分布有大型石砌祭坛、女神庙、积石冢群等规模宏大的祭祀遗址，位于山梁上的东山嘴祭坛发现了大片红烧土、数十厘米厚的灰土、动物烧骨等燎祭遗存物。此祭坛两侧对称，南圆北方，合于后世“祀天于圜丘在南，祭地于方丘在北”的礼制;坛、庙、冢“三合一”的布局与“天地坛、太庙、陵寝”的布局相似;冢的结构与后世的帝王陵墓相似;出土的龙形玉器也是我国最早的龙形器物之一。该遗址揭示出令人惊叹的史前文化，展示了中华文明的古老渊源。亦可看出，商周时期的燎祭正是对远古祭祀观念的继承。
距今5000~4000年间(约为广义的龙山时代)，燎祭的使用已较为普遍。山西陶寺遗址的祭祀区发现了大型“坛”形建筑，很可能曾用于观测天象和燎柴祭天(近年来的研究表明，此遗址很可能就是尧的都城平阳)。太湖流域的良渚文化遗址也有大量燎祭遗存，可知该地区曾有浓厚的燎祭风气。良渚文化主要分布于太湖及杭嘉湖地区，包括浙江余杭莫角山、反山、瑶山、汇观山、江苏常州寺墩、上海青浦福泉山、江苏吴县草鞋山、张陵山、昆山绰墩、少卿山等多处遗址，其中有数十处大型祭坛及类似“金字塔”的贵族坟山(人工堆筑高台，中间为墓地)，其燎祭遗存分布广泛。
距今4000~3000年间(夏商时期)，燎祭已遍及南方与北方、沿海与内陆的广大地区，商代尤为明显，可见于河南偃师商城、郑州商城、郑州小双桥、四川广汉三星堆等多处商代遗址。
